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張曉東?蘇州納米所供圖

2009年,，中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（以下簡稱蘇州納米所）納米加工平臺正式對社會(huì)開放服務(wù)，急需運(yùn)維工作人員,。

那一年,，張曉東碩士畢業(yè)，甫一加入蘇州納米所,，就一頭扎進(jìn)納米加工平臺的超凈實(shí)驗(yàn)室,，一干就是15年。

15年的光陰讓張曉東從一名普通工藝員成長蛻變?yōu)槠脚_的科研骨干,，也讓他收獲了中國科學(xué)院技術(shù)支撐人才,、蘇州創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)好青年等榮譽(yù)稱號，以及江蘇省五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)?，并讓他?024年榮獲全國五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆?/p>

與平臺共同成長

張曉東見證了納米加工平臺的不斷完善,，納米加工平臺也成就了他的成長,。張曉東不僅負(fù)責(zé)平臺的電子束金屬蒸發(fā)、化學(xué)機(jī)械研磨拋光,、磁控濺射薄膜沉積,、電感耦合等離子體刻蝕等系列設(shè)備的日常運(yùn)營及管理，還積極開展工藝開發(fā)與積累,、標(biāo)準(zhǔn)化工藝制定與推廣,、技術(shù)培訓(xùn)與人才培養(yǎng)等工作。

為進(jìn)一步提升納米加工平臺服務(wù)能力,，張曉東根據(jù)科研和產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,，在經(jīng)費(fèi)和場地有限的條件下，建成國內(nèi)首條開放性8英寸氮化鎵Micro-LED工藝線,，加速了Micro-LED微顯示芯片國產(chǎn)化的進(jìn)程,，為建成國內(nèi)知名、行業(yè)著名的半導(dǎo)體芯片加工與封裝多功能公共服務(wù)平臺作出了重要貢獻(xiàn),。

目前,，納米加工平臺已建成超凈實(shí)驗(yàn)室1萬余平方米、各類半導(dǎo)體工藝加工設(shè)備300余臺套,，支持硅基傳感器,、化合物半導(dǎo)體、寬禁帶半導(dǎo)體以及生物芯片等領(lǐng)域的創(chuàng)新研發(fā),，是中國最具特色的納米技術(shù)公共服務(wù)平臺,。

平臺每年支撐數(shù)百家高校、科研院所和企業(yè)進(jìn)行科學(xué)研究,、技術(shù)開發(fā)和人員培訓(xùn)等,，推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)增加產(chǎn)值數(shù)十億元，為新一代信息科技發(fā)展輸送了大量技術(shù)與人才,，有力支撐了國家創(chuàng)新體系發(fā)展,，已成為蘇州納米所在半導(dǎo)體微納加工領(lǐng)域的名片。

以國家需求為方向

半導(dǎo)體技術(shù)是現(xiàn)代信息科技和數(shù)字經(jīng)濟(jì)的核心與基石,，在推動(dòng)國家發(fā)展,、社會(huì)進(jìn)步、保障國家安全等方面具有戰(zhàn)略性作用,。

面向國家對半導(dǎo)體核心基礎(chǔ)元器件的需求,，張曉東潛心開展氮化鎵、氧化鎵等寬禁帶材料與器件研究,，開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的增強(qiáng)型氮化鎵高電子遷移率晶體管技術(shù),，一舉榮獲“率先杯”未來技術(shù)創(chuàng)新大賽總決賽最高獎(jiǎng)。

面向新型信息顯示系統(tǒng)對顯示芯片的實(shí)際需求，張曉東團(tuán)隊(duì)攻克高亮度Micro-LED微顯示芯片的多項(xiàng)技術(shù)難點(diǎn),，研制出具有高亮度,、高發(fā)光效率與優(yōu)異色彩表現(xiàn)的超高分辨率Micro-LED微顯示芯片。

針對現(xiàn)有超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵薄膜與器件存在的突出問題,，張曉東團(tuán)隊(duì)開發(fā)了高質(zhì)量氧化鎵薄膜的異質(zhì)和同質(zhì)外延生長技術(shù),，制備了性能優(yōu)異的日盲紫外探測器和功率電子器件，達(dá)到國際先進(jìn)水平,。

面向國家重大任務(wù)支撐保障的需求,，張曉東參與超導(dǎo)轉(zhuǎn)變邊沿探測器的版圖工藝設(shè)計(jì)和器件制備等工作，進(jìn)行了低溫超導(dǎo)探測芯片等器件的關(guān)鍵工藝開發(fā),，并制備出相關(guān)原理樣機(jī),，攻克了關(guān)鍵半導(dǎo)體元器件“卡脖子”技術(shù),。

人才是創(chuàng)新的核心支撐

“創(chuàng)新需要平臺的支撐,，更離不開人才的培養(yǎng)?！睆垥詵|深知人才培養(yǎng)的重要性,，他希望通過努力培養(yǎng)出更多的“勞模工匠”。

2011年,，蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)人才公共實(shí)訓(xùn)基地建立,。張曉東講授了Micro-LED技術(shù)與微顯示芯片、超寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件等課程,，培訓(xùn)了一大批納米技術(shù)高技能人才,。

作為博士生導(dǎo)師，張曉東十分注重學(xué)生開放性學(xué)習(xí)思維的培養(yǎng),，堅(jiān)持以問題為先導(dǎo),，調(diào)動(dòng)創(chuàng)新內(nèi)驅(qū)力、發(fā)揮主觀能動(dòng)性,，不斷拓展知識的深度和廣度,。同時(shí)，他還鼓勵(lì)學(xué)生獨(dú)立思考,、培養(yǎng)批判性思維,，多視角發(fā)現(xiàn)問題、多維度分析問題,，將創(chuàng)新實(shí)踐融入到解決實(shí)際問題中,。

辛勤的付出換來了豐碩的成果。張曉東指導(dǎo)的學(xué)生先后獲得“華為杯”第四屆中國研究生創(chuàng)“芯”大賽全國總決賽三等獎(jiǎng),、第八屆中國國際“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國總決賽銀獎(jiǎng),、第十三屆“挑戰(zhàn)杯”中國大學(xué)生創(chuàng)業(yè)計(jì)劃競賽全國總決賽銀獎(jiǎng)等榮譽(yù)。

（原載于《中國科學(xué)報(bào)》?2024-12-18?第4版?綜合）